电子级超纯水标准GB /T1146.1-1997

电阻率

MΩNaN(25℃)

18以上，（95%时间不低于17）

15，（95%时间不低于13）

12.0

0.5

全硅，最大值，μg/L

2

10

50

1000

>1μm微粒数，最大值，个/mL

0.1

5

10

500

细菌个数，最大值，个/mL

0.01

0.1

10

100

铜，最大值，μg/L

0.2

1

2

500

锌，最大值，μg/L

0.2

1

5

500

镍，最大值，μg/L

0.1

1

2

500

钠，最大值，μg/L

0.5

2

5

1000

钾，最大值，μg/L

0.5

2

5

500

氯，最大值，μg/L

1

1

10

1000

硝酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

磷酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

硫酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

总有机碳，最大值，μg/L

20

100

200

1000